株式会社テクノメイト

薬液供給装置(キャニスタユニット) P82

最終更新日: 2018-10-09 10:20:39.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送により原液を供給するための装置です。
CMP装置の原液供給に使用されます。

【特長】
■PTFE製バルブを使用
■排気用ダンパーを内蔵


※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連情報

薬液供給装置(キャニスタユニット) P82
薬液供給装置(キャニスタユニット) P82 製品画像

【仕様】
〇サイズ
・ W1500×D600×H1300(mm)
○薬液
 ・酸系 H2O2、 HF
・アルカリ系 NH4OH
〇フィルター
 ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製
○バルブ
 ・エアオペレーションバルブ PTFE製
〇排気
 ・ダンパー、マノメータ内蔵

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