上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送により原液を供給するための装置です。
CMP装置の原液供給に使用されます。
【特長】
■PTFE製バルブを使用
■排気用ダンパーを内蔵
※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【特長】
■PTFE製バルブを使用
■排気用ダンパーを内蔵
※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
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関連情報
薬液供給装置(キャニスタユニット) P82
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【仕様】
〇サイズ
・ W1500×D600×H1300(mm)
○薬液
・酸系 H2O2、 HF
・アルカリ系 NH4OH
〇フィルター
・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製
○バルブ
・エアオペレーションバルブ PTFE製
〇排気
・ダンパー、マノメータ内蔵
お問い合わせ
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株式会社テクノメイト