上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
加温する液体に全く影響を及ぼさない作りとなっています。
本装置は、シリコンウェハ、液晶ガラス基板、ハードディスク基板等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより、非接触でクリーン加温する装置です。
【特徴】
○純水加熱容器は石英ガラスを使用
○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用
○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用
○加熱効率が９６％以上
○PID制御による±1℃の安定した温度制御
○起動から使用温度まで120秒以内の昇温
○幅広い使用流量・温度に対応
○流量変化に対応した温度調整が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
【特徴】
○純水加熱容器は石英ガラスを使用
○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用
○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用
○加熱効率が９６％以上
○PID制御による±1℃の安定した温度制御
○起動から使用温度まで120秒以内の昇温
○幅広い使用流量・温度に対応
○流量変化に対応した温度調整が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
関連情報
超純水加熱装置
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【仕様】
○加温能力：12?/分、ΔT＝55.0℃（12Nの場合）
○最高設定温度：85℃
○温度調整制度：±1℃
○加温タンク数：2個（12Nの場合）
○ヒーター本数：12本（12Nの場合）
○電源（制御用）：AC200V 5A
お問い合わせ
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株式会社テクノメイト
