プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置
【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。
ウェハーサイズは、下記２タイプを用意
■FM-6648：8インチまで
■FM-6643：12インチまで
シリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる万能装置。
■特長
・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可
・ノーマルテープの貼付けピッチ可変
・テンションフリー貼付け
・バブルフリー貼付け
・表面非接触貼付け対応可
・静電気対策装置
・小型、軽量、小フットプリント
■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。
・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可
・ノーマルテープの貼付けピッチ可変
・テンションフリー貼付け
・バブルフリー貼付け
・表面非接触貼付け対応可
・静電気対策装置
・小型、軽量、小フットプリント
■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FM-6648 |
| 用途／実績例 |
■用途 ・ダイシング用途プリカットテープとノーマルテープ共用 ・ダイシング用プリカットテープ専用 ・ダイシング用ノーマルテープ専用 ・プリカット DAF・ダイシング一体型テープ ・ノーマル DAF・ダイシング一体型テープ ・DAF単体テープ ・バックグラインドテープ／BGテープ ・表面保護テープ ・裏面保護テープ ・機能性フィルム(レジストフィルム、CSPフィルム封止、アンダーフィルフィルム、その他) 【ダイシング用途】 ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。 【保護（バックグラインド／BG）用途】 ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。 【その他】 フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等） |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FM-6648 | 8インチまで｜装置寸法：1,220mm（W）x 660mm（D）x 1,620mm（H） |
| FM-6643 | 12インチまで｜装置寸法：1,710mm（W）x 975mm（D）x 1,570mm（H） |
関連ダウンロード
フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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