テクノビジョン｜製品総合カタログ

■主な特長
・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
・円周カッター内蔵。
・水平カッター内蔵。
・セパレーター巻き取り機構内蔵。
・オプション：ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策

■特長
・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可
・ノーマルテープの貼付けピッチ可変
・テンションフリー貼付け
・バブルフリー貼付け
・表面非接触貼付け対応可
・静電気対策装置
・小型、軽量、小フットプリント

■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。

■主な特長
・ワークの【スクラブ洗浄・リンス・乾燥】を一台の装置でスピーディーに実施。
・スクラブ洗浄用特殊ブラシにてワークに傷を付けず、洗浄ムラなく精密洗浄可能。
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない設計。
・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適。
・乾燥は、ホット純水乾燥。

■主な特長
・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも好適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応

※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。

■主な特長
・用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返し使用可
・はめ合わせに方向性を持たないグリップリング
・テープ/フィルムの裂け、破れが無くなります。
・方向確認作業がいりません。
・慣れないオペレーターでも安心して作業が出来ます。
・鋭角部が無いので手や指が痛くなりません。
・裂け破れの原因となる樹脂注入時の突起（ゲート）がありません。
・カラー製作も可能です。

■主な特長
・高密度ＵＶグリッドランプを使用。
・ワーク面に対して照射が均一。
・省スペース、コンパクト設計。
・シンプルなユーティリティー。
・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。
・簡単操作、セーフティー機能内蔵。

■特長
・ランニングコストが1/10以下！
・常温　/　室温での照射が可能！
・瞬時の光源立ち上がり
・照度バラツキを解消
・波長365ｎｍを採用、全ＵＶテープ対応
・小流量Ｎ2パージ機能内蔵
・小型、軽量、テーブルトップタイプ
・光源交換は通常使用で10年以上不要

※評価用デモ機の貸出中！

■主な特長

・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも最適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応

※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。

■主な特長
・ヒーター容量は1〜36KWまで16種類
・接液部は石英、PTFE
・液溜まりがない構造
・小型、堅牢、安全設計

不活性ガス／クリーンドライエアー用（SHシリーズ）：加熱部に
ステンレス（SUS316−EP処理）を採用
＜特長＞
・ヒーター容量は500〜2400Ｗまで6種類
・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理
・高効率、安全、小型設計

■主な特長
・100,000,000円前後のマスク代を毎年削減※
・マスクに付着したレジストを簡単に除去
・マスクに付着したパーティクルを簡単に除去
・マスクは消耗品から永久使用へ
・洗浄液は環境にやさしいマイルドな水溶性薬液を開発
・熱硫酸や硫酸過水などの危険から解放
・高価なリムーバーや現像液なども不要

■主な特長
・常温、室温照射ができる
・光源は瞬時に立ち上げ可能
・低消費電力
・長寿命
・装置はコンパクトに設計可能
・上面照射、下面照射、側面照射など設計に自由度がある
・両面照射も可能
・ワークの移動、または光源のスキャン移動が可能
・ワークサイズ/照射面積に制限がない
・地球温暖化防止、CO2削減に貢献

カセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。

■特長：
・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄
・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施
・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現

■特長
・プリセットされた貼付け条件でオートラミネーション
・各種テープ／フィルムに対応
・貼付け圧力可変
・貼付けローラーのスピード可変
・円周テープカッター内蔵
・水平テープカッター内蔵
・セパレーター自動巻取り機構内蔵
・表面非接触貼付け対応可
・ホットウェーハーチャック対応可
・静電気対策対応可
・小型軽量
・テーブルトップ

■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。フィルム貼付け時の圧力と貼付けスピードがデジタル表示で管理できます。

独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。

高圧水銀ランプ仕様。
300mm／12”対応。
サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。

■主な特長

・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載
・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる
・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に
大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少 など、総合的な製造プロセスの効率化が図れる

※詳細は、お問い合わせ下さい。

各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『ドライユニット』があります。

■主な特長
・ヒーター容量は500～2400Ｗまで6種類
・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理
・高効率、安全、小型設計

■特長
・貼付け動作とテープ送り出しのメカニカルリンク機構搭載。
・セパレーター巻き取り機構内蔵。
・貼付ローラーの自動平衡機構内蔵。
・UVカットカバー標準装備。
・オプション：ヒーターユニット、静電気除去ユニット。
・テーブルトップタイプ。

■メリット
プリカットテープの貼付けには、テープの位置出し機構と、貼付け動作／テープ送り出しのリンク機構が必要で、高価なセミオート・フルオート装置が必要でした。シンプルなマニュアル装置とすることで、イニシャルコストの低減が期待できます。

■特長
・自動貼付け、オートフィルムカット機構。
・貼付け圧力/可変。
・貼付けスピード可変。
・貼付けローラー自動平衡機能。
・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。
・テーブルトップタイプ

■メリット
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。

■主な特長
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。

■主な特長
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
・フィルム自動カット機構搭載

■カスタマイズ
安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。

■主な特長
0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。

■カスタマイズ
安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。