ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能
【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。
本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置／UV 照射装置です。
独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。
高圧水銀ランプ仕様。
300mm／12”対応。
サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。
高圧水銀ランプ仕様。
300mm／12”対応。
サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | UVC-512 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
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