拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。
EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。
拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。
またオートカット機能を標準で搭載しています。
テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。
拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。
■主な特長
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TEX-21シリーズ |
| 用途／実績例 |
ダイシング／分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング／分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TEX-21BG | 6インチ（150mm）対応、装置寸法：340mm（W ）x 600mm（D）x 350mm（H） |
| TEX-218G | 8インチ（200mm）対応、装置寸法：400mm（W）x 690mm（D）x 350mm（H） |
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