スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行
テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。
弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています｡
■主な特長
・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも好適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応
※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも好適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応
※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TWE-200 |
| 用途／実績例 |
■主な用途 フォトマスク： 半導体用、液晶用、有機ＥＬ用、カラーフィルター用、 薄膜デバイス用、ＩＣパッケージ用、ＰＷＢ用、ＰＣＢ用、ＦＰＣ用 その他、板状基板等洗浄可 ■各オプション ・界面活性剤供給ユニット ・HEPA／ULPAユニット ・イオナイザー、 ・ホットエアーナイフ ・純水加熱ユニット |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| モデル TWE-200 | マスクサイズ：300mm×300mmまで／ 装置寸法：980mm（幅）×720mm（奥行）×1,760mm（高さ）／ 重量：250Kg |
| モデル TW-300 | マスクサイズ：360mm×460mmまで ／ 装置寸法:1,070mm（幅）×700mm（奥行）×1,815mm（高さ）／ 作業高さ：1,200mm ／ 重量：280Kg |
| モデル TW-700 | マスクサイズ：620mm×720mmまで ／ 装置寸法：1,810mm（幅）×880mm（奥行）×1,590mm（高さ）／ 作業高さ：1,240mm ／ 重量：580Kg |
| モデル TW-1000 | マスクサイズ：1,300mm×1,700mmまで ／ 装置寸法：17,200mm（幅）×1,200mm（奥行）×2,700mm（高さ） |
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株式会社テクノビジョン 本社
