小型・軽量・小フットプリント装置
ワークを回転させながら照射させるため、
ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置
■主な特長
・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載
・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる
・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に
大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少 など、総合的な製造プロセスの効率化が図れる
※詳細は、お問い合わせ下さい。
・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載
・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる
・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に
大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少 など、総合的な製造プロセスの効率化が図れる
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | UVC-408/UVC-512 |
用途/実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
UV(紫外線)硬化装置|高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」
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