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関連情報
・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計
・365日の継続的モニタにより生産性向上とコスト削減を実現
・コンパクトで手頃な価格により、あらゆる低真空チャンバーに取り付け可能
・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上
・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用
・校正のための基準ガスボンベをオプションで用意
・長寿命のフローズドイオンソースによりsub-ppmレベルの汚染物質の検出
が可能で、腐食性ガスや反応性ガスにも対応
・軽量で移動が容易
・365日の継続的モニタにより生産性向上とコスト削減を実現
・コンパクトで手頃な価格により、あらゆる低真空チャンバーに取り付け可能
・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上
・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用
・校正のための基準ガスボンベをオプションで用意
・長寿命のフローズドイオンソースによりsub-ppmレベルの汚染物質の検出
が可能で、腐食性ガスや反応性ガスにも対応
・軽量で移動が容易
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