東京電子株式会社

従来の常識を破る真空構造材0.2%BeCu合⾦

最終更新日: 2022-08-19 13:06:15.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

従来の常識を破る真空構造材 0.2%BeCu合金

関連情報

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 製品画像
【仕様(一部)】
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』
極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』 製品画像
当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など
極高真空製品を多数取り扱っています。

【SEMICON Japan 2019 概要】
会期:2019年12月11日(水)~13日(金)
会場:東京ビッグサイト 西展示棟・南展示棟・会議棟
小間番号:5237

※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
『魔法のニップル』
『魔法のニップル』 製品画像
【その他特長】
■300°C までのベーキング可能
■銅ガスケットが使える
■ヌード BA ゲージまたは EX ゲージのヘッドを本品に入れてチャンバに
 取り付けるだけ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極高真空計『3B-Gauge』
極高真空計『3B-Gauge』 製品画像
【仕様】
■電子エネルギー:120eV
■フィラメント電位:100V
■フィラメント加熱電流/電圧=1.5A/3.0V
■E-Beam脱ガス電力=480V×10~30mA
■電子電流=1~4mA(10mA可能)
■偏向電極電位=155V(デフレクター)
■X線限界=約5×10-12Pa
■ベーキング温度:最大280℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ
多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ 製品画像
■極・超?真空の?精度な質量分析
■表?分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析
■?気圧分析(呼気、燃焼ガス、触媒反応)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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