上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2018/02/03
テレセントリックｆθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レーザ露光」で走査幅全域において高精度ビーム形状描画が可能 テレセントリックｆθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。［基本仕様］下記以外の走査幅（テレセンｆθレンズ）にも特注で対応可能型 式 LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長 375，405，650，780，830nm；355，488，532nm
レーザスポット径（@レーザ波長405nm） 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm 125mm 250mm
データ分解能 ～25,400dpi ～5,080dpi ～3,000dpi ～1,500dpiデータフォーマット ビットマップ（BMP）
フォーカスユニット（マニュアル操作） Zステージ
［選択オプション］
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル
関連情報
テレセントリックｆθレンズ仕様 レーザ露光装置
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テレセントリックｆθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。
［基本仕様］下記以外の走査幅（テレセンｆθレンズ）にも特注で対応可能型 式 LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長 375，405，650，780，830nm；355，488，532nm
レーザスポット径（@レーザ波長405nm） 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm 125mm 250mm
データ分解能 ～25,400dpi ～5,080dpi ～3,000dpi ～1,500dpiデータフォーマット ビットマップ（BMP）
フォーカスユニット（マニュアル操作） Zステージ
［選択オプション］
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
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超広視野レーザ走査イメージヤ原理図（レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています）
お問い合わせ
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株式会社ワイ・ドライブ
