株式会社ワイ・ドライブ

テレセントリックfθレンズ仕様 ラスタースキャン型レーザ露光装置(小ロット高精細度露光用)

最終更新日: 2018/10/03

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/02/03

テレセントリックfθレンズとポリゴンミラーによる「ラスタースキャン型レーザ露光」で走査幅全域において高精度ビーム形状描画が可能
テレセントリックfθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。
[基本仕様]下記以外の走査幅(テレセンfθレンズ)にも特注で対応可能型   式  LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長  375,405,650,780,830nm;355,488,532nm
レーザスポット径(@レーザ波長405nm) 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm  125mm  250mm
データ分解能 ~25,400dpi ~5,080dpi ~3,000dpi ~1,500dpiデータフォーマット   ビットマップ(BMP)
フォーカスユニット(マニュアル操作) Zステージ
[選択オプション]
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル

関連情報

テレセントリックfθレンズ仕様 レーザ露光装置
テレセントリックfθレンズ仕様 レーザ露光装置 製品画像

テレセントリックfθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。
[基本仕様]下記以外の走査幅(テレセンfθレンズ)にも特注で対応可能型   式  LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長  375,405,650,780,830nm;355,488,532nm
レーザスポット径(@レーザ波長405nm) 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm  125mm  250mm
データ分解能 ~25,400dpi ~5,080dpi ~3,000dpi ~1,500dpiデータフォーマット   ビットマップ(BMP)
フォーカスユニット(マニュアル操作) Zステージ
[選択オプション]
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 製品画像

超広視野レーザ走査イメージヤ原理図(レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています)

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