上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2018/11/5
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比５倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 超広視野共焦点型・高分解能１μｍ、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる 計測時間：１μｍ分解能 約３５秒 5μｍ分解能 約１０秒 ●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。
レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の１００倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です
関連情報
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
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超広視野レーザ走査イメージヤ原理図（レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています）
テレセントリックｆθレンズ仕様 レーザ露光装置
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テレセントリックｆθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。
［基本仕様］下記以外の走査幅（テレセンｆθレンズ）にも特注で対応可能型 式 LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長 375，405，650，780，830nm；355，488，532nm
レーザスポット径（@レーザ波長405nm） 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm 125mm 250mm
データ分解能 ～25,400dpi ～5,080dpi ～3,000dpi ～1,500dpiデータフォーマット ビットマップ（BMP）
フォーカスユニット（マニュアル操作） Zステージ
［選択オプション］
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル
比類なき高視野・高分解能な干渉型３Ｄレーザー走査顕微鏡
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レーザ走査を用いた初めての干渉計測
光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nｍの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7000）
サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
走査範囲は30ｍｍ×50ｍｍ、モニター上で拡大観察可能
セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計（型番：LSMi-7500）
円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計（型番：LSMi-8000）
非接触で微細な干渉縞計測可能。
交換レンズは、5ｍｍ、10ｍｍ、26ｍｍ走査レンズ、特注可能
通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます
これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50ｍｍの範囲を３Ｄ形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です
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株式会社ワイ・ドライブ
