株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野、従来比5倍高速・高解像度

最終更新日: 2018/11/05

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/11/5

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比5倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能1μm
超広視野共焦点型・高分解能1μm、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる 計測時間:1μm分解能 約35秒 5μm分解能 約10秒 ●計測幅:0.8μm 深さ:5nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。

レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の100倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

関連情報

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 製品画像

超広視野レーザ走査イメージヤ原理図(レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています)

テレセントリックfθレンズ仕様 レーザ露光装置
テレセントリックfθレンズ仕様 レーザ露光装置 製品画像

テレセントリックfθレンズによるレーザ露光のため、走査幅全域においてビーム形状が同じで高精度な描画が可能。 直描装置本体部をコンパクトなサイズに納めましたので、省スペースで多品種小ロットの高精細露光に最適です。
[基本仕様]下記以外の走査幅(テレセンfθレンズ)にも特注で対応可能型   式  LSU-1002LSU-6010 LSU-12522 LSU-25030
レーザ波長  375,405,650,780,830nm;355,488,532nm
レーザスポット径(@レーザ波長405nm) 2μm 10μm 22μm 30μmレーザ走査幅 10mm 60mm  125mm  250mm
データ分解能 ~25,400dpi ~5,080dpi ~3,000dpi ~1,500dpiデータフォーマット   ビットマップ(BMP)
フォーカスユニット(マニュアル操作) Zステージ
[選択オプション]
フォーカス確認ユニット、繰り返し露光機能、基準穴位置調整機能、エアーチャックテーブル

比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡
比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡 製品画像

レーザ走査を用いた初めての干渉計測
 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nmの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7000)
  サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
  走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能
  セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
  干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7500)
  円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-8000)
  非接触で微細な干渉縞計測可能。
  交換レンズは、5mm、10mm、26mm走査レンズ、特注可能
  通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能1μm 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50mmの範囲を3D形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です   

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