上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売を行っているアローズエンジニアリング株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査できる検査装置「ウエハエッジ外観検査機」
関連情報
検査装置 「ウエハエッジ外観検査機」
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【特長】
○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる
○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能
○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現
○オリフラ部を含めた外観検査が可能
○画像計測分解能１０μｍ
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アローズエンジニアリング株式会社
