上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売を行っているアローズエンジニアリング株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる検査装置「透明膜検査証明装置」
関連情報
検査装置 「透明膜検査証明装置」
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【特長】
○透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載
○透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる
○ハレーション効果を上げ背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能
○ソフトウエアー、ＩＰ－２０（異物検査）ＣＰ－２０（線幅測定）などとの組み合わせにより自動検査装置が容易に構築可能
○オプションとしてラインレーザー式追従型オートフォーカスを組み合わせて自動検査機を構成できる
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