上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売を行っているアローズエンジニアリング株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥を検出できる検査装置 「パターン検査装置」
関連情報
検査装置 「パターン検査装置」
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【特長】
○検査結果データを測定条件と比較し、良品・不良品を判別
○検査結果データはファイリング可能
○一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能
○検査時の画像の位置ずれを自動的に補正するので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能
○スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件を設定することも可能（最大１０スペック）
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お問い合わせ
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アローズエンジニアリング株式会社
