上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売を行っているアローズエンジニアリング株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステム。簡単操作で精密計測が可能な検査装置「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」
関連情報
検査装置 「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」
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【特長】
○ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能
→ソフト上でウェハーマップのフォームを表示して、ポイント毎に自動計測可能
○位置ずれ補正マークや、計測ウインドウを設定し、白黒の輝度変化エッジ間の長さを計測することができる
○計測を行いたい画像毎に計測パターンを設定できる
○長さを計測したい部分に平行２直線をマウスで合わせるだけで計測することも可能
○操作性に優れたＧＵＩ環境
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
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アローズエンジニアリング株式会社
