上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
300mウエハーで1ショット1秒で検査可能。全自動化検査ラインにも採用。
スーパーマクロ SM75は300mmウエハーでワンショット1秒で検査でき、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも採用されております。小型視野の光学系からラインアップしており、オプション光源に赤外線をもちいることにより内部のボイド検査にも応用できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
関連情報
スーパーマクロ SM75
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【主な特長】
○短時間検査
→300mｍウエハーでワンショット1秒で検査可能
→検査時間が短いため全自動化検査ラインにも採用されている
○小型視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できる
○近年ウエハーの薄型化が進んでいるがBG加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置
○自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしておりマニュアルでの検査が可能
○任意のスライスレベルを設定できたニーズに合った検査が可能
○用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜きだす
○一般的な撮影と違い被写体に与える光が「平行光速」
→平面の繊細な凹凸を像の濃淡に変換して自動検査する
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
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