上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売を行っているアローズエンジニアリング株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能、低価格を実現が特徴の光学的ストッパー機能装備「シート抵抗測定装置」
関連情報
光学的ストッパー機能装備 「シート抵抗測定装置」
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【特長】
○微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能
○低価格を実現
○光学的ストッパー機能が標準装備
○次世代半導体デバイス(極浅接合Siウエハー、有機半導体)用薄膜の研究開発
○機能性薄膜(青色ダイオード用GaN,SiCパワーデバイス、太陽電池等)の研究・開発
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アローズエンジニアリング株式会社
