最終更新日:
2023-01-06 15:11:52.0
お客様の測定アプリケーション（サンプル）にあった測定方法が選択が可能です。
DFPモジュール（AXP）は、シャドウモアレでは測定できなかった、段差のある製品、はんだボール付きPKG・ザグリあり基板などの連続していない平面（アイランド状）のものが測定可能です。
ガントリーフィクスチャーで、測定位置が移動可能（大きなサンプルの特定の位置へ移動可能）。
XY高分解能（高画素190万画素以上）でコネクタホールなどの小さな構造物も測定することが可能（自動マスク処理可能）です。
【仕様】
○取り付け可能機種 – AXP
○最大FOV（視野角）– 100mm x 100mm
○最大設置可能サンプル – 400mm x 400mm
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【仕様】
○最小サンプル – 0.5mm x 0.5mm
○データ密度 ‐ 625pixel/mm2
○Z軸分解能 – 5 μm
○Z軸測定精度 – ±5 μm
○焦点深さ - ±10mm
○販売開始 2013年4月～
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