ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種ありウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します
ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です
【特長】
■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置
■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置
■RCA洗浄装置
■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます
■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます
■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能
■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能
■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど）
■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能
■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能
※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可）
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
【カスタマイズ可な機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ（自動メカ付）
○扉センサー（自動メカ付）
○圧力スイッチ
○温度センサー（恒温度仕様）
○自動消火システム（有機用）
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス（有機用）
○爆圧ハッチ（有機用）
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ（自動メカ付）
○扉センサー（自動メカ付）
○圧力スイッチ
○温度センサー（恒温度仕様）
○自動消火システム（有機用）
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス（有機用）
○爆圧ハッチ（有機用）
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
関連ダウンロード
ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ダルトン
