従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。
陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
■多孔質シリコンを全自動にて形成します。
■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。
■N型、P型両方に対応出来ます。
■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。
ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。
■多孔質シリコンを全自動にて形成します。
■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。
■N型、P型両方に対応出来ます。
■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。
ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
関連ダウンロード
ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ダルトン
