上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案
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【掲載内容の一部をご紹介】
＜大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ＞
(1)誘導電圧（電流）発生に伴う絶縁破壊等
(2)紫外光（有機素材特性変化）
(3)表面粗れ（表面粗化またはエッチング）
(4)パーティクル発生
(5)静電気発生（集塵効果・絶縁破壊・チャージアップダメージ）
(6)アーク及びストリーマ
(7)熱（処理中）
処理形態やワークによってそのダメージは、一種のメリットになる可能性もあり、例えば、使用電極構造にもよるが、プラナー型（ダイレクト型）電極の場合、プラズマ発生時のストリーマ（微小アーク）やイオン衝突等により、ワーク表面に粗化を与え、結果的にアンカー効果により密着性の向上につながる場合もあります。
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大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理
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