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関連情報
【特長】
■クロスビームFIB「Carl Zeiss 1540XB」
・FIBで断面加工しながリアルタイムでSEM観察が出来るため、
ピンポイントで精度よく断面を出すことが可能
・SEM/SIMの観察が可能
■シングルビームFIB「SEIKO SMI 2200」
・TEM試料作製やSIM観察断面の作製、微細加工などの加工が可能
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■クロスビームFIB「Carl Zeiss 1540XB」
・FIBで断面加工しながリアルタイムでSEM観察が出来るため、
ピンポイントで精度よく断面を出すことが可能
・SEM/SIMの観察が可能
■シングルビームFIB「SEIKO SMI 2200」
・TEM試料作製やSIM観察断面の作製、微細加工などの加工が可能
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【FIB-SEM複合装置概要】
■垂直方向にSEMカラム、斜め方向にFIBカラムを搭載
■FIB加工中の様子をSEMでリアルタイムに観察が可能
■加工位置精度の向上
■大気非暴露で観察、分析可能
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■垂直方向にSEMカラム、斜め方向にFIBカラムを搭載
■FIB加工中の様子をSEMでリアルタイムに観察が可能
■加工位置精度の向上
■大気非暴露で観察、分析可能
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