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【積層基板の観察事例(斜めCT観察)】
■Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、
そのままCT観察することが可能
■X線による透過観察では、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能
■測長ツールを用いることで長さを測定することもできる
■測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7~14%の差が見られたが、非破壊で内部構造を
把握したいという場合には有効
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■Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、
そのままCT観察することが可能
■X線による透過観察では、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能
■測長ツールを用いることで長さを測定することもできる
■測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7~14%の差が見られたが、非破壊で内部構造を
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