株式会社アイテス

微小異物分析のためのサンプリング技術

最終更新日: 2019-11-07 14:49:23.0
エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。

■多層膜中異物の特殊サンプリング技術

・基板上金属膜に埋もれた異物
 金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析

・多層薄膜中の異物
 表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析
 ミクロトーム/FIB 薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析

基本情報

■さらに強化されたマイクロサンプリングツール
 新規導入されたマイクロサンプリングツールは
 顕微鏡下でマニュピレータを用い
 正確に狙った異物を捕らえます

■5umに満たない微小異物でも
 多数集めてFT-IRにて測定することが可能です

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 多層膜中異物の特殊サンプリング技術

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