最終更新日:
2020-09-14 17:37:08.0
「観察/元素分析」や「EBSDによる解析」など!EBSDによる解析例を紹介致します
セラミック(Al2O3)について、EBSDによる解析例を紹介致します。
「観察/元素分析」では、EDXによる元素分析からAl2O3と判断され、
マップよりSiが点在している様子が観察されました。
「EBSDによる解析」では、EBSD法により結晶サイズの分布や配向性を
確認でき、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特長を
可視化できます。
【解析概要】
■観察/元素分析
・SEMによる観察とEDXによる元素分析
■EBSDによる解析
・EBSDにて結晶構造を観察
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