![【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/c5a/2000245605/IPROS37065991160639091217.jpeg?w=140&h=140)
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上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2023/03/29
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、1)深さ方向分解能が良い、2)酸化物・窒化物・フッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、3)微量な状態の評価が可能、4)OHのモニターが可能、5)相対的なサンプル間の比較(膜厚・組成)が可能、6)イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捉えた評価が可能です。
以下に自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。
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