最終更新日:
2023-03-29 12:02:30.0
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、(1)深さ方向分解能が良い、(2)酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、(3)微量な状態の評価が可能、(4)OHのモニターが可能、(5)相対的なサンプル間の比較(膜厚・組成)が可能、(6)イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。
自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:LSI・メモリ
分析目的:化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚
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