一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】HAADF-STEM像とは

最終更新日: 2024-05-28 13:47:29.0
HAADF-STEM:高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法

■原理
HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます。

■特徴
Z2ρが大きな材料の方がより高角に散乱される

重い元素はSTEM像では暗く、HAADF-STEM像では明るい

原子量(Z)に比例したコントラストが得られることから、Zコントラスト像とも呼びます。

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用途/実績例 形状評価・組成分布評価

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