【分析事例】LSI・メモリ 一覧

【分析事例】トランジスタ（MOSFET）の拡散層分布評価

SCMによる特定箇所の拡散層評価

最終更新日： 2016-02-05 10:27:50.0

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【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

FIB法による特定箇所の平面TEM観察

最終更新日： 2016-02-19 11:23:51.0

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【分析事例】極浅ドーパント分布の高精度分析

高い再現精度で評価可能

最終更新日： 2016-08-25 14:27:25.0

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【分析事例】Si表面のH終端の解析

処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較

最終更新日： 2022-10-26 11:37:08.0

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【分析事例】最表面シラノール基の評価

TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

最終更新日： 2023-04-07 17:32:08.0

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【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

最終更新日： 2016-08-25 14:00:30.0

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【分析事例】極浅注入プロファイルの評価

極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能

最終更新日： 2016-08-25 14:25:09.0

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【分析事例】素子分離領域の歪解析

NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析

最終更新日： 2016-10-31 12:06:09.0

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【分析事例】室内雰囲気中の腐食成分分析

インピンジャー捕集法による大気中イオン成分の分析が可能です

最終更新日： 2023-04-20 16:37:34.0

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【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

最終更新日： 2016-07-29 14:39:30.0

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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です

最終更新日： 2016-04-19 11:26:36.0

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【分析事例】SiGe中不純物の高精度定量評価

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2016-04-19 11:06:40.0

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【分析事例】ニッケルめっき剥離面の評価

めっきの剥がれ、密着不良をTOF-SIMS分析で原因調査

最終更新日： 2023-04-20 16:35:20.0

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【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

最終更新日： 2016-03-17 13:41:38.0

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【分析事例】溶液中の窒素成分の評価

無機窒素を形態別に分析可能です

最終更新日： 2016-03-16 15:07:17.0

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【分析事例】揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2016-03-16 15:00:48.0

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【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

最終更新日： 2016-10-31 11:32:12.0

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極点測定

XRD：X線回折法

最終更新日： 2023-03-29 17:13:18.0

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【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

最終更新日： 2023-04-07 18:04:17.0

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【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

最終更新日： 2023-03-29 16:58:04.0

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【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

最終更新日： 2022-10-11 16:55:41.0

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【分析事例】低温フォトルミネッセンス測定の注意事項

PL：フォトルミネッセンス法

最終更新日： 2016-03-15 14:30:03.0

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【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

最終更新日： 2023-04-07 16:31:38.0

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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

最終更新日： 2023-04-07 16:06:43.0

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【分析事例】IC法による溶液中の有機酸の分析

溶液中の有機酸の定性・定量分析が可能です

最終更新日： 2016-08-25 11:00:46.0

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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です

最終更新日： 2016-03-14 14:40:57.0

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【分析事例】RAE検出器を用いた大口径イメージングSIMS

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2016-03-14 11:40:41.0

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【分析事例】SRAの濃度換算について

SRA：広がり抵抗測定法

最終更新日： 2023-03-29 16:46:08.0

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【分析事例】SRAの深さ換算について

SRA：広がり抵抗測定法

最終更新日： 2023-03-29 16:53:31.0

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【分析事例】定量計算における妨害ピーク除去処理

XPS：Ｘ線光電子分光法

最終更新日： 2016-03-11 13:50:19.0

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