一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

最終更新日: 2016-02-19 11:23:51.0
FIB法による特定箇所の平面TEM観察

ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。
これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造(シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化膜)が確認できます。

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