一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SEM装置での歪み評価

最終更新日: 2024-05-28 13:47:29.0
EBSD:電子後方散乱回折法

TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。
SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。
また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。

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用途/実績例 結晶構造評価・応力・歪み評価

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