最終更新日:
2023-04-07 18:04:17.0
Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。
HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。
本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。
測定法:TEM・EDX
製品分野:LSI・メモリ
分析目的:形状評価・構造評価
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