最終更新日:
2023-04-12 14:49:05.0
凹凸サンプルの組成分布評価が可能です
TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、分布評価などに有効な手段です。
本資料では、ノズルの内壁を分析した事例を示します。
ノズル表面と内壁の分布が確認され、各部位でのピークの有無の確認ができました。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:製造装置・部品・日用品
分析目的:組成分布評価
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