一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】TDSによる脱離成分の推定

最終更新日: 2017-01-10 15:00:22.0
複数質量の脱ガスパターンを比較します

TDSの分析結果では、一つの質量電荷比(m/z)に対して複数の成分が検出されることがあります。このような場合でも、複数の質量について測定を行い脱ガスパターンを比較することで、昇温加熱により脱離した成分を推定することが可能です。
Si基板上W膜のTDS分析結果を例に、水とアンモニア(m/z=17)、有機物とアルゴン(m/z=40)の成分推定方法について説明します。

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