一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価

最終更新日: 2017-12-21 16:56:47.0
TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です

TDSは高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温し、試料から脱離するガスを質量分析計を用いて調査する手法です。真空装置であるため有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。
レジスト膜についてTDS分析を実施した例を以下に示します。有機物、水、H2S、SO2などレジスト膜起因の脱ガスが検出されました。また成分により、脱離の温度が異なることが分かりました。

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