［UPS］紫外光電子分光法

最終更新日: 2016-02-18 13:49:39.0

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。

XPS分析と併せて測定が可能なため、試料表面組成の定性・定量や結合状態と仕事関数値との相関を調べることが可能です。

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基本情報

測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。（紫外光：He I線21.22eV）

放出された電子の運動エネルギー分布（右図）から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。

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用途／実績例	・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価・TiNなど窒化膜の仕事関数評価・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価・太陽電池材料の価電子帯評価

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