『AEROHEAT』は、当社のMIケーブル製造技術をもとに開発した
長寿命ヒータです。
非発熱部を接続することで、真空中でもフランジやシールポートの
Oリング温度を低くすることができ、冷却配管や冷却水が不要となり、
設備やランニングコストを抑える事が可能。
反射板やヒータケースに組み込んだ状態での納入も可能で、届いたら
装置に取り付けるだけの簡単な取扱い性能も魅力のひとつです。
【特長】
■MIケーブル製造技術をもとに開発した長寿命ヒータ
■冷却配管や冷却水が不要
■設備やランニングコストを抑える事が可能
■反射板やヒータケースに組み込んだ状態での納入も可能
■装置に取り付けるだけの簡単な取扱い性能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■パネルヒーターを何枚も組み合わせることにより8Gを超えるような大型ガラス基板でも
細やかな温度制御が可能
■半導体製造装置に使用するホットプレートでは早い昇温スピードと均一な温度分布が可能
■端子部にセラミック気密端子を使用することで真空中での電源取り合いが可能
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株式会社岡崎製作所