最終更新日:
2022-11-24 17:42:58.0
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
N-111 NEXLINE(R) OEMドライブは、ストローク～5mm、
高分解能、および発生力～40Nの、コンパクトなナノポジショニング用アクチュエータです。
【特徴】
○ストローク：5mm
○分解能：0.025nm（オープンループ）と5nm（クローズドループ）
○プッシュプルフォース～40Nおよび60Nの保持力
○静止時の自動ロック、発熱なし
○非磁性および真空対応の動作原理
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基本情報
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|---|---|
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| 型番・ブランド名 | N-111 NEXLINE(R)OEMリニアモーター／アクチュエータ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・半導体製造 ・半導体の試験 ・ウェハーの検査 ・ナノリソグラフィ ・ナノインプリント ・ナノ計測 ・アクティブ振動ダンピング ・強磁場での動作 |
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