最終更新日:
2022-11-24 14:05:19.0
最先端アライメントに最適! 多軸&高速＆高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム！
＜高速＆高精度駆動＞
この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。
※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。
※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。
＜高解像度アナログ信号入力＞
コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。
＜ピボットポイントの任意設定＞
システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。
基本情報
システム駆動軸：9軸
＜ヘキサポッドラフポジショニング＞
トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度
最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm
ロータリーエンコーダ
＜ピエゾファインポジショニング＞
トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm
最小移動量：2.5nm
内蔵センサー
＜システム専用コントローラ＞
C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア
E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | F-712.HU1型 ドイツ Physik Instrumente社製 |
| 用途／実績例 | ・シリコンフォトニクスアライメント＆組立て ・光ファイバーアライメント＆組立て ・微小部品アライメント＆組立て ・光学部品アライメント ・光学部品試験 ・各種計測 |
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