最終更新日:
2022-11-24 17:58:41.0
お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました！XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、
お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！
XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。
生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。
＜仕様＞
・駆動軸 6軸
・トラベルレンジ XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度
・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad
・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒
・耐荷重：40Kg（水平時）
・任意回転中心設定
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | H-840.G2IHP型 ドイツ Physik Instrumente（PI）社 |
| 用途／実績例 | ライフサイエンス（生体位置決め） マイクロ部品製造検査 マイクロマニピュレーション 産業用アライメントシステム 光学部品の組み立て＆位置合わせ 各種検査 |
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