最終更新日:
2022-11-24 11:10:10.0
ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー。最大5gまで高加速。最高速度500mm/s
『U-751』は、従来のモーター駆動のボールベアリングステージと
比べて、薄型で、設置面積はより小さくなっている
PILineピエゾモーターXY軸ステージです。
高さがわずか32mmという薄型で最適化されたフォームファクタと、
標準化された取り付けパターンにより、PIの標準ピエゾナノポジショニング
システムとの組合わせが可能になります。
【特長】
■コンパクト
■電源オフ時の自動ロック、保持電流が不要
■最大5gまで高加速
■最高速度500mm/s
■非磁性および真空対応の操作原理
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他特長】
■ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー
■注油不要
■内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
■分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
■コンパクトな設計で断面高さ32mm、設置面積170×170mm
■センター開口部は78×78mm
■静止時に自動ロック
■PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 【アプリケーション例】 ■バイオテクノロジー ■顕微鏡による検査 ■走査型顕微鏡 ■共焦点顕微鏡 ■半導体試験 ■ハンドリング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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