最終更新日:
2022-11-24 17:51:54.0
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な
メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。
そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、
高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報
動作範囲：> 360°
駆動面の直径：150mm～350mm
偏芯：100～200nm
平坦度：50－75nm
Wobble：1μrad～2µrad
耐荷重：190～1200N
内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート
最大速度：500rpm
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・トモグラフィー ・ビームラインシステム ・高精度計測＆検査 ・超精密計測装置 ・校正 ・XCTスキャニング |
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