最終更新日:
2022-11-24 11:09:38.0
高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定するように維持します。
『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、
ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。
電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが
小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。
エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより
信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。
【特長】
■2軸での高速位置決め
■軽量で省スペース
■高ガイドの精度
■センサー分解能 10nm
■待機時セルフロック、待機時の発熱なし
■低ノイズオペレーション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【技術データ（抜粋）】
■駆動軸：X、Y
■移動範囲：22mm×22mm
■速度、クローズドループ：200
■双方向繰り返し性：±0.2
■ピッチング：±60
■ヨーイング：±300
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【応用分野】 ■マイクロマニピュレーション オートメーション バイオテクノロジー サンプルマニピュレーション サンプル位置決めなどの限られたスペースでの用途向き ■真空アプリケーションは10-6hPa 対応（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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