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パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811

最終更新日: 2023-03-31 08:19:48.0
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム

※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜

6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。
大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。

また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。

本体寸法:φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ(BLDC)と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。
真空対応(10^-6hPa)バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。

【特長】
■最小ヘキサポッド(真空オプションあり)
■トラベルレンジ:34mm/42°
■耐荷重:5kg
■アクチュエーター分解能:40nm
■最小インクリメンタルモーション:0.2μm
■再現性:±0.1μm
■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む
■ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能

※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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基本情報

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 利用用途
・ 光位置合わせ
・オートメーション
・品質保証試験
・試験機器

応用分野
・研究および工業用途、標準環境および真空環境に対応
・マイクロマニピュレーション、医療技術、工具検査に対応

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