最終更新日:
2022-11-24 17:43:18.0
コンパクトで高速なPiezoWalk(R)ドライブ。20mmの標準ストローク！コンパクトでコスト効率に優れた設計
N-310 NEXACT(R) PiezoWalk(R)リニアドライブは、
わずか25 x 25 x 12mmのコンパクトなパッケージに、
20mmのストロークと10Nのプッシュプルフォースの性能を備えています。
【特徴】
○20mmの標準ストローク
○コンパクトでコスト効率に優れた設計
○0.03nmの分解能
○プッシュプルフォース～10N
○低動作電圧
○静止時の自動ロック、発熱なし、ナノメートル精度の安定性
○非磁性および真空対応の動作原理
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基本情報
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| 型番・ブランド名 | N-310 NEXACT(R) OEMミニチュアリニアモーター／アクチュエータ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・半導体製造 ・ウェハーの検査 ・ナノリソグラフィ ・表面測定手法 ・側面計測 ・顕微鏡による検査 ・強磁場での動作 |
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