最終更新日:
2022-11-24 13:39:26.0
高加速度および等速駆動が必要になるアプリケーションに最適！ ストロークは３種類・アブソリュートエンコーダ内蔵。
クロスローラーベアリングを用いた高精度リニアガイドにより、リニア位置決めステージは高い移動精度を実現。
特に一定速度が求められるスキャニングでの利用に適合します。
アンチクリープシステムは確実にケージクリープを防ぎます。
本ステージは、高速および高加速度を実現するため、アイアンレス磁気直接駆動を採用。磨耗のない駆動により高い位置決め分解能を得ることが可能です。
内蔵のアブソリュートエンコーダーは明確な位置決め情報を提供するため、高速位置決めが可能でスイッチを入れている間はリファレンス動作をする必要がありません。このため動作中の効率や安全性が向上します。
非直進性、機会の遊び、あるいは弾性変形の影響がないよう最も高精度な一計測ができる移動ステージ部分でダイレクト計測しています。
※詳しくはお問い合わせください。
基本情報
移動範囲：最大230ｍｍ
最大速度：0.5m/s
1nm分解能のアブソリュートエンコーダ内蔵
高精度ガイディング
コンパクト設計
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ドイツPI社 |
| 用途／実績例 | ・産業および研究 ・オートメーション ・計測 ・フォトニクス ・医療 ・半導体やフラットパネルディスプレイ製造における高精度スキャニング |
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