最終更新日:
2022-12-05 21:54:36.0
大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現
P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる
今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい
大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能～0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ
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基本情報
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| 型番・ブランド名 | P-726 PIFOC(R)高荷重対物レンズスキャナ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・3D画像 ・スクリーニング ・オートフォーカスシステム ・顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・表面形状解析 ・ウェハー検査 |
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